產品簡介
關鍵詞：晶圓檢查機,半導體晶圓,半導體晶圓檢查機,基板厚度,外徑量測機,晶圓翹曲,晶圓外觀量測,半導體,晶圓量測設備,瑕疵檢測,晶圓刮痕檢查,Particle,晶圓自動檢查機,粉塵粒子檢查機,晶圓刮傷檢測,晶圓篩檢機,晶圓厚度量測,晶圓翹曲量測
半導體晶圓基板厚度及外徑量測機
簡介: 中空式XY軸線性馬達定位平台結合雷射探頭，
可量測基板的厚度與翹曲，並結合影像量測裝置，進行外徑與瑕疵檢測。
平台底部搭載LIFT PIN，自動頂放料件，可結合SCARA機械手臂，進行自動上下料。
應用:基板厚度、翹曲、外徑量測及瑕疵檢測。
關鍵詞：AOI,AOI自動檢測,PCB檢測設備,自動光學檢測,半導體設備,晶圓檢測,AOI瑕疵檢測,晶圓檢查機,半導體檢測設備,晶圓檢測設備,高速高精度光學影,客製化檢測設備,視覺檢測,高精度二次元影像,面板尺寸量測,瑕疵檢測,PCB板檢測,光學檢測,奈米定位及对准
高精度二次元影像量測機
簡介:
行程:0.5m*1.5m
結構:花崗岩架構
驅動裝置:線性馬達(單驅)
導引裝置:線性滑軌
影像裝置:CCD+顯微光學系統+雷射追焦系統
回授裝置:雷射干涉儀
應用: 面板尺寸及瑕疵檢測，PCB板檢測
高精度二次元影像量測機
簡介:
行程:1.3m*1.5m
結構:花崗岩架構
驅動裝置:線性馬達(雙驅)
導引裝置:線性滑軌
影像裝置: CCD+顯微光學系統+雷射追焦系統
回授裝置:雷射干涉儀
應用:面板尺寸及瑕疵檢測，PCB板檢測
長行程二次元影像量測機設計
簡介:
行程:2m*1.3m (龍門跨距2m以上)
結構:花崗岩基座+鋁架構
驅動裝置:線性馬達
導引裝置:線性滑軌
影像裝置:搭載金相顯微鏡
回授裝置:光學尺
應用: 面板尺寸及瑕疵檢測，PCB板檢測
關鍵詞：花崗石結構件,山東濟南青,機構件,德國減振器,花崗石,超高精度,平行度,平面度,垂直度,氣壓減振,除振器,避震器,大理石平板,大理石构件,大理石量具,大理石構件,大理石埋螺牙套,结构件,花岗石结构件,大理石钻孔,大理石结构件,设备减振,能量束直写,奈米封装,微结构自我组装,湿式涂布,微型工具机,奈米定位及对准,微晶硅薄膜镀膜,半导体设备,晶圆检测,划线机,太阳能切割,花崗石構件,大理石机构件
花崗石結構件製作,材質為山東濟南青與印度黑!
可代客組裝機構件部份(費用另計!)
另有銷售德國減振器,可幫貴司提供初期減振設計建議(由德國工程師專案評估)!!
關鍵詞：奈米定位平台,奈米級高精度定位平,壓電補償平台,氣浮式線性馬達平,長行程奈米定位平,微奈米精密定位平,奈米微定位平台控
奈米級高精度定位平台
技術簡介Introduction
奈米級高精度定位平台運動機構主要整合氣浮式線性馬達平台、壓電補償平台，回授系統使用多自由度雷射干涉儀量測系統，利用壓電補償平台補正線性馬達定位平台移動時之幾何誤差，且多自由度雙頻雷射干涉儀定位回授量測系統，解析度高、反應快速，因此定位平台移動速度快且定位精度高。
定位平台規格 Specifications
XY軸位移行程: 200mm×200mm
驅動方式: 線性馬達
最快移動速度: 150mm/s
回授方式: 雷射干涉儀
量測解析度: 0.154nm
定位精度: 50nm/200mm
直線度誤差: 50nm/200mm
Yaw角度誤差: <0.5arcsec/120mm
關鍵詞：軸類尺寸公差檢查設,刀具量測,聯軸器尺寸公差量,軸心加工尺寸公差,轉軸尺寸公差量測,工件尺寸量測,加工零件尺寸自動,客製化量測設備,工件輪廓辨識
軸類尺寸公差檢查設備
簡介: 機台架構包含一精密旋轉分度盤、Z軸移動裝置、夾盤裝置及頂針機構，結合Line scan影像裝置，可進行軸類工件量測。
應用:軸類尺寸公差量測，刀具量測
CCD檢測機
簡介: 直交式機械手臂結合CCD影像辨識系統進行工件輪廓辨識。
應用:工件輪廓辨識
關鍵詞：電子控制氣壓避震器,自動回復水平,電子式避震器,避震器,減振器,振動異常回報,震動狀態即時顯示,自動校正水平,制振學習系統
電子控制氣壓避震器的功能：
1.自動回復水平。
2.可調節任一位置高低。
3.震動狀態即時顯示。
4.蒐集、儲存、分析震動水平資料。
5.即時振動異常資訊回報。
6.外接電子水平傳自動校正水平。
7.具有制振學習功能，可縮短減振時間。
關鍵詞：德國避震器,減振器,除振器,氣壓避震器,AOI,快速回覆水平,氣浮導軌,PCB檢測設備,半導體設備,晶圓檢測,三次元量測,劃線機,太陽能切割,光學檢測機,自動化設備,設備減振,阻尼,空氣隔振,气压式避震器,气压式减震器,制振器,除震器,主动式气压避震器,减振器,快速自动调平水平,德制主动式气压避,机构设计与组装,免费振动评估,电子控制气压减振,回复水平,PCB检测设备,设备减振,隔振,空气隔振,晶圆检测,划线机,三次元量测,自动化设备,半导体设备,羽昌科技
德國避震器,具有水平控制功能,可快速回覆水平!大多應用於高精密作業機台,在機台設計初期,如有振動問題,歡迎來電討論!!我們有德國工程專業解決您的問題!
關鍵詞：陶瓷,碳化矽,氧化鋁,超高精度,氣浮導軌,結構件,平尺,直尺,方規,治具,碳化矽治具,氧化鋁加工,碳化矽加工,碳化矽零件,耐腐蝕,羽昌科技,陶瓷吸盤,陶瓷治具,陶瓷量具,陶瓷吸盘,气浮导轨,陶瓷結構件
陶瓷有黑色跟白色之分：
1.黑色材料為碳化矽。
2.白色材料為氧化鋁。
陶瓷的精度比花崗石精度還高，可用於製做：
1.量規。
2.治具。
3.結構件。
4.氣浮導軌。
陶瓷的特性：
1.熱膨脹係數是不銹鋼的一半，溫度變化小。
2.比重和花崗石相近，可做中空加工，因此單位體積的重量比花崗石小
關鍵詞：花崗石,鑽孔,花崗石鑽孔,螺牙套,花崗石洗洞,埋螺牙套,花崗岩鑽孔,大理石,花崗岩,大理石鑽孔,埋牙套,花崗石構件,花岗石,钻孔,花岗石钻孔,花岗石洗洞,花岗岩钻孔,花岗岩,大理石钻孔,花岗石构件,花岗石结构件,羽昌科技,大理石埋螺牙套,大理石客制化构件,结构件,构件,机构设计与组装,自動化設備,晶圆检测,光学检测,晶圓檢測,光學檢測,微晶矽薄膜鍍膜,微结构自我组装,微晶硅薄膜镀膜,微結構自我組裝,微型工具機,微型工具机,奈米定位及对准,奈米定位及對準
專業花崗石鑽孔.埋螺牙套服務!!
鑽孔服務,請提前告知鑽孔數量及尺寸( 刀具及螺牙套要有備料時間)!!
鑽孔少可到廠服務 孔數多,工件須到我司加工!!
※花崗石加工規範
1.孔壁到花崗石邊緣的尺寸,最小為2倍孔位以上
2.平台最小厚度應為長度1/10倍
螺紋規格
關鍵詞：中空型精密XY運動,中空型工作台,AOI量測,檢測平台,機器手臂校正,XY運動定位平台
中空型精密XY運動定位平台
簡介:
1.線性馬達驅動
2.光學尺回授
3.精度: ±3μm
4.直線度: ±2μm
5.中空型工作台適用於AOI量測。
6.使用雷射干涉儀校正及進行精度補正。
應用: 檢測平台、機械手臂校正、AOI量測應用
關鍵詞：內存晶片整料設備,內存卡,內存晶片,自動整料,內存晶片自動整料,內存卡脆盤,記憶卡,記憶卡整料設備,microSD
晶片整料設備
簡介:使用PLC整合三軸位移平台及輸送帶，並開發人機操作介面，供使用者設定，進行記憶卡脆盤對脆盤或輸送帶對脆盤之吸取擺放，完成記憶卡整料。
應用: 吸取擺放及整料應用
關鍵詞：人造花崗石,減振,制振,高剛性,高阻尼,羽昌科技
人造花崗岩材料的相關特性：
1.人造花崗岩材料具有典型的振動阻尼性質，其阻尼特性數值超過鑄鐵達10倍左右。
2.價格/性能比值；製造成本增加不多，但可提高工具機性能及加工準確性，且一旦進入量產的階段，成本勢必能夠大幅的下降。
3.人造花崗岩的比重比鑄鐵低，因此，在相同結構重量，結構的壁厚可以設計為鑄鐵的3-4倍厚，因此剛性較鑄鐵更好。
4.人造花崗岩鑄造工具機底座所具備的高剛性與高阻尼特性，一般不須再設置水泥地基。機械安裝所需的水平校準作業亦可減少到最低。
5.高精度的導軌滑面：工具機各導軌滑面可與底座一體精密鑄造完成，在其上直接黏貼減磨襯片(Anti-friction Liner)，再作局部的修整加工即可使用。
6.不受礦油或礦油乳化劑的影響，可在目前的加工條件下切削使用。
7.在生產現場加工的溫度變化下，結構尺寸變化相當小，體積收縮與膨脹的量不大，可確保結構的精度。
8.典型的表面光滑度：工具機底座從澆鑄模型中取出時，即已具有相當光潔的表面，節省進一步機械加工的成本。
9.人造花崗岩的性質，可經由改變材料的組成或配方達到不同的需求，以因應不同結構設計的考量，容易控制材料成本。
10.凝固成型的過程快速，同時整個鑄造過程為同一常溫製程，因此可在結構中設計電控和潤滑的管路，提高結構的功能與整機的系統性。
11.製造時不會產生廢棄物，故無環境污染顧慮。而與鑄鐵或其他材料類別比較，製造時所須的能量消耗亦較小，符合環保要求
關鍵詞：花崗石,花崗石量規,直角規,方規,V型枕,花崗石平台,直尺,立體方規,平行規,測量座,比較儀,客製化量具,扭簧比較儀,检测平台,花岗石,花岗石量具,花岗石量规,真直规,方形直角规,平形垫规,立体坐标规,V形规,花岗石平行规,花岗石四方规,直角规,羽昌科技,客制化量具,立体方规,花岗石平台,方规,平行规,量规,花崗石量具,檢測平臺,量規,花崗石平臺,真直規,方形直角規,平形墊規,V形規
花崗石量具,可客製化!!
另有500*500*60直角方規/3u 特價中!!
關鍵詞：氣浮式線性馬達運動,氣浮式線性馬達,XY定位,阿貝誤差,氣浮導軌,陶瓷氣浮導軌,曝光機,奈米級定位,超高精度,半導體設備
氣浮式線性馬達運動平台
簡介:
具有XY之定位運動，其架構為H型型式，XY移動於同一平面上，可降低平台高度減少阿貝誤差，
導軌使用陶瓷多孔材質之氣浮軸承所組成之氣浮導軌，其氣浮穩定性較佳，驅動裝置及回授裝置使用線性馬達搭配光學尺，
此平台運動結構摩擦力小，具有快速移動，精度高，整定時間快等優勢。
應用:曝光機載台，影像量測載台
關鍵詞：Dummy,測試片,Monitor,檔片,控片,鋁膜片,氧化膜,氮化膜,Oxide,打線測試,封裝測試,切割測試,wafer,AL,鋁檔片,鋁片,晶圓片,Silicon,Al2O3,晶圆片,太阳能电池片,铝档片,半导体材料,假晶圆,铝膜片,硅片,氧化膜片,镀铝片,石英光罩,LED蓝宝石,Flash蓝膜片,tray盘,感光芯片,切片环,硅片环,半导体晶圆材料,太陽能電池片,LED藍寶石,Flash藍膜片,矽片環
一.Test Wafer / Dummy Wafer / Monitor Wafer
測試片 / 檔片 / 控片
6” 8” 12” Dummy wafer
二.Metal film Wafer
金屬膜晶圓片(Al、Ni、Ag、Au、Ti、Pb、Cu)
產品應用：
1. 蝕刻率測試
2. 金屬打線測試
關鍵詞：高精度,垂直量測,氣浮,氣浮導軌,μ級,全閉鎖,垂直度測量儀,氣浮移動,直角度,羽昌科技,垂直度,便宜垂直量測,便宜量測
行程:800mm
精度:5u
環境濕度 Humidity：50%
溫度 Temperature：20±1℃
壓力 using air pressure： 4kg/cm2
平台平面度 5μm 以下
