企業概況(由AIBKO整理) 20240509 19:22 更新
逵碩實業有限公司成立於2002年2月，通過ISO9000認證，是一家專業從事半導體及光電業的擴散爐管設備翻新、PLC溫控模組設計、石英零件製作、電阻加熱器製作、Novellus加熱器維修製作以及磁性流體維修的公司。公司擁有豐富的行業經驗和專業技術，致力於為客戶提供高品質的產品和服務。
逵碩實業主要的主營項目包括代客修改水平爐管、自動化設備修改、晶舟承載模組設計製作、石英組件製作、平板式陰極磁管開發、石英Tank加熱器維修以及立式爐管販賣等。公司致力於為客戶提供全方位的解決方案，滿足客戶不同的需求和要求。
在產品方面，逵碩實業提供各種石英組件、石英管、平板式陰極磁管、石英Tank加熱器等客製化產品，以及晶舟承載模組等設計製作服務。公司擁有先進的生產設備和技術，能夠根據客戶的需求進行定制化生產，確保產品的品質和性能。
在服務方面，逵碩實業提供水平爐管修改、LED融合爐自動化設備修改、石英Tank加熱器維修等服務。公司擁有專業的技術團隊和完善的售後服務系統，能夠及時響應客戶的需求，提供高效、快速的服務。
逵碩實業在行業中取得了多項重要的成就和里程碑事件，不斷創新和進步。公司致力於提升產品和服務的質量，滿足客戶的需求，贏得客戶的信任和支持。
未來，隨著半導體和光電行業的持續發展，逵碩實業將繼續致力於技術創新和產品升級，不斷提升自身的競爭力和市場地位。公司將積極參與行業合作和交流，拓展市場空間，實現共贏共享的目標。
歡迎有需求的客戶向逵碩實業有限公司發出需求，洽談合作，共同開創美好的未來。
產品簡介
關鍵詞：工業局,設備,晶圓,控制,自由,模組化,選擇
本公司於2010年開始對外作 200mm 立式爐管販賣，
以台灣自製的設備來提供服務，本設備開發是經由工業局
專案補助開發完成，8"立式爐管由Robot 傳送，取代人工傳送
晶圓，減少外在的污染。
製程範圍:APCVD Oxide, Anneal
LPCVD POLY(620~655度)
由台灣自製，提供較佳的成本選擇，外製設備價格高，全新設備
價格高，中古設備風險高。
本設備使用PLC為控制單元，穩定度高，不會因為版本更新而造成
零件短缺，維修容易(目前皆為模組化)。
製程溫區3~5段P.I.D控制(自由選擇)。
氣體控制為MFC控制。
關鍵詞：Boat,Injector,Quartz,Tube,石英
客製化
各種石英組件
石英管
關鍵詞：BMD,OISF,DRY,oxide,WET,高溫爐管
8吋客製化實驗
關鍵詞：element,heater,加熱器,水平,爐管,立式
加熱爐體設計製造1
溫度範圍:400℃~
關鍵詞：Magnetron,bonding,sputter,平面顯示器,陰極磁管
本公司開發平板式陰極磁管，適用於平板式靶材，可依客戶之尺寸製作，目前已突破其關鍵技術，
其關鍵技術為如何將磁力線導引出來，當磁鐵上方有金屬遮蔽，此時磁力會減低，目前本公司可
將表面磁力維持1200~1600高斯，銅材與磁鐵皆完全在台灣至加工製造，提高本土製造之能力。
關鍵詞：20,200,mm,代工,wafer,5%,
200mm Wafer Dry 和Wet Oxide film 代工
膜厚:5000A~10000A
均勻性<4%
關鍵詞：石英,維修,加熱器,tank,包裝,隔熱,包括
石英Tank加熱器維修，維修項目包括:
加熱單元更換。
隔熱包裝。
石英Tank維修
PVFtank更換
圖一為維修後外觀
圖二三與圖四為維修後升溫測試
服務簡介
關鍵詞：element,heater,加熱器,水平,爐管,立式,
本公司代客修改水平爐管，可與現有系統共存，不影響舊系統生產，
可修改:
1.加熱爐(分為三段或是五段)
2.真空系統(前後法蘭、真空管、Wafer Paddle、Gas line..)
3.控制系統(PLC與溫控器、伺服驅動器)
4.壓力計:(HASTING Gauge)
5.Gas Panle修改
關鍵詞：伺服控制,傳送,晶片,模組,真空,
晶舟承載模組
【
關鍵詞：LOW,vacuum,低真空,傳送,晶片,機器手臂,
代客設計與製作，模組化設計，控制方式為PLC主控，穩定性與精確度皆可依要求作設計，完全符合客戶設計的需求
關鍵詞：LED,自動傳送,自動化,融合爐,設備修改,
自動化設備修改或加裝，LED融合爐手動傳送，加掛自動傳送裝置，
使你的設備馬上提高效率，亦可避免人為操作之錯誤。
