產品簡介
關鍵詞:環境污染,有機化合物,甲苯,甲烷,揮發性,voc,清洗劑
專門處理VOC (揮發性有機化合物)
一般作為清洗劑溶劑使用之苯、 甲苯、
二氯甲烷,廣泛應用於工業中。但是釋
放
關鍵詞:電熱式,廢氣處理,Scrubber,水洗式,NF3,SiH4,PH3
KT1000FA設備採電熱水洗式設計,比一般瓦斯燃燒式機種節省耗材成
本,也不會有燃燒後產生二氧化碳的問題。其均溫性佳,處理效率較
高,台灣兩大晶圓代工廠共採購KT1000FA超過1,100台。KT1000FA
堅固耐用且安全,第一部售出的機台已逾八年,至今仍未除役,深受
客戶肯定。
適合處理: Deposition gas
SiH4, SiH2Cl2, WF6, NH3, PH3, SiCl4, TEOS, Si2H6, TDMAT, GeH4, 3MS, 4MS etc.
適合處理: Cleaning gas:
NF3
關鍵詞:加熱器,處理,觸媒,用電量,燃燒,獨特,自家
小型VOCs處理設備,體積小安全性高,
電熱式,自家設計獨特加熱器,用電量低
環保性加,適合安裝在屋內處理,觸媒燃
燒式或直接燃燒式兩種型態皆有
關鍵詞:高溫,處理,電漿,SF6,CF4,PFCs,plasma
KPL為電漿式(Plasma)高溫處理設備,最高溫度1300℃ ,可處理
CF4,SF6,CHF3,C2F6,NF3,SiH4,TEOS,N2O,SiH2Cl2,NH3,F2,B2H6,WF6,C3F8,C4F8,O3,BCl3,HBr
等高溫難分解的氣體,體機小而不占空間,有國際品質認證標準
關鍵詞:環境污染,有機化合物,甲苯,甲烷,作為,voc,清洗劑
專門處理VOC (揮發性有機化合物)
一般作為清洗劑溶劑使用之苯、 甲苯、
二氯甲烷,廣泛應用於